高精度輪廓儀是一種用于非接觸或接觸式測量物體表面微觀形貌、幾何輪廓及關鍵尺寸的精密檢測設備,廣泛應用于精密制造、光學元件、半導體、汽車零部件、航空航天、模具加工及科研實驗室等領域。其核心功能是獲取被測工件表面在微米甚至納米級的三維形貌數據,為產品質量控制、工藝優化和失效分析提供高可靠性依據。
其通常集成高穩定性花崗巖基座、精密導軌、高分辨率傳感器及智能圖像處理軟件,支持自動對焦、多區域拼接、3D重建、粗糙度(如Ra、Rz)、波紋度、臺階高度、曲率半徑等參數的自動計算,并符合ISO 4287、ISO 25178等國際標準。部分設備還具備環境溫控、防震設計及AI輔助分析功能,確保在復雜工況下仍保持z越重復性和準確性。
一、日常清潔與防污
外殼清潔
使用軟布蘸取少量清水或中性清潔劑,輕擦儀器外殼,避免使用含苯、稀釋劑等腐蝕性清潔劑,防止涂裝褪色或剝落。
頑固污漬可用擰干的軟布蘸稀釋中性清潔劑擦拭,再用干布擦干。
關鍵部件清潔
探針/測頭:定期用無水乙醇和軟毛刷輕拭表面油污,避免用力按壓導致變形或損壞。
導軌/傳動部件:用無塵布或軟毛刷清理灰塵、碎屑,防止劃傷導軌;定期涂抹專用潤滑脂(如鋰基脂),減少磨損和生銹風險。
光學元件(如激光頭、物鏡):使用專用吹氣球或氮氣吹塵槍清潔表面,頑固污漬需用指定鏡頭紙和清潔劑輕擦,避免劃傷。
樣品臺清潔
確保樣品臺平整、無劃痕或污漬,定期清潔以避免影響測量結果。
二、環境控制
溫濕度管理
保持工作環境溫度穩定(如20±2℃),濕度控制在40%-60%,避免溫度波動導致光學元件或樣品熱脹冷縮,影響測量精度。
高精度設備(如光學輪廓儀)建議放置在恒溫恒濕的潔凈室中。
防塵防潮
避免儀器暴露在粉塵、油霧或潮濕環境中,長期不用時需斷電并覆蓋防塵罩。
倉庫或保管室需通風、干燥,配備除濕裝置,防止儀器“生霉”“生霧”。
防震防碰撞
搬運時固定運動部件,輕拿輕放,避免振動或碰撞損壞精密結構。
作業中暫停使用的電子儀器,每周至少通電1小時,保持各功能正常運轉。
三、部件維護與更換
耗材管理
定期檢查并更換探針、測頭等易損件,避免磨損影響測量精度。
使用原廠配件,確保兼容性和性能穩定性。
金屬部件防銹
用防銹油擦拭暴露的金屬表面(如夾具、支架),外業儀器每6個月更換一次防銹油脂。
電氣系統檢查
定期檢查電源線、信號線等連接是否牢固,電氣元件是否有松動或損壞現象,確保安全。
保險絲更換
關閉控制箱電源,拔出電源線,用螺絲刀取出保險絲座蓋并拆除舊保險絲,安裝新保險絲(額定值需匹配,如250V,5A),再蓋好座蓋并連接電源。
四、校準與精度驗證
定期校準
根據使用頻率和環境條件,每月至少校準一次儀器。使用標準塊(如球型或臺階塊)驗證精度,記錄偏差值并調整參數。
高精度設備(如光學輪廓儀)需按廠家推薦周期,使用標準樣板對垂直和橫向尺度進行校準。
測力檢測(如三豐輪廓儀)
使用壓力表檢測探針壓力,確保在25mN-30mN范圍內,超出時需調節探針尾部砝碼。
